IV和CV特性測試：利用參數(shù)分析儀對半導體器件進行IV（電流-電壓）和CV（電容-電壓）特性測試，能夠獲得器件的電阻特性、電容特性和晶體管的增益特性，這些數(shù)據(jù)對于理解器件的工作機制和性能至關(guān)重要。
工藝參數(shù)測試：通過精密的電學特性測量，參數(shù)分析儀可以揭示器件的工藝參數(shù)和物理信息，如離子注入濃度、薄膜厚度、線寬和氧化電荷等，這些信息有助于改進制造工藝和提高器件性能。
動態(tài)性能測試：參數(shù)分析儀可以測量器件的動態(tài)參數(shù)，如頻率響應、增益和相位特性，這對于高頻應用尤為重要。
可靠性測試：通過測試器件在不同溫度和偏置條件下的性能，參數(shù)分析儀有助于評估器件的長期可靠性。
故障分析：當半導體器件出現(xiàn)故障時，參數(shù)分析儀可以用于故障分析，通過測量故障器件的電參數(shù)來確定故障原因。
優(yōu)化測試流程：參數(shù)分析儀的自動化測試功能可以優(yōu)化測試流程，提高測試效率和準確性，從而加快半導體器件的研發(fā)和生產(chǎn)周期。
數(shù)據(jù)采集與分析：自動化測試環(huán)境中，參數(shù)分析儀通常與測試機（ATE）集成，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動采集和分析，這對于提高測試效率和準確性非常有幫助。
高電壓和大電流測試：對于高功率應用，參數(shù)分析儀可以進行高電壓和大電流測試，這對于評估功率器件的性能至關(guān)重要。
溫度特性測試：參數(shù)分析儀還可以進行溫度特性測試，這對于評估器件在不同溫度下的性能和穩(wěn)定性非常重要。
